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物电论坛777期:微波等离子体化学气相沉积金刚石技术

摘要:人工合成金刚石拥有与天然金刚石相同的优异特性,且成本较低,理论上没有尺寸限制,在机械加工、航空航天、国防以及核工业等众多领域都有着非常广泛的应用前景。在众多人工合成金刚石方法中,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法是目前世界上公认的制备金刚石的首选方法。但是,MPCVD合成金刚石的关键装置及工艺技术被英、美等几个发达国家垄断,我国处于落后状态。特别是,许多高品质金刚石材料不得不依赖于国外进口,在一定程度上限制了我国相关技术的发展。针对这一现状,团队基于对微波、电磁场、等离子体、晶体生长等理论的系统研究,借助数值模拟结合实验研究,自主设计并制造出三代新型高功率MPCVD金刚石合成系统。与国际同类系统相比,团队制造的系统的制造成本低,可容纳的功率、产品的合成速率以及金刚石原材料的品质均达到了国际先进水平,可实现小规模的工业化生产。团队利用研发的系统对金刚石合成技术进行了系统的探索,先后实现了工具级、热沉级、光学级和电子级金刚石合成技术突破。其中,高品质金刚石产品已在中国工程物理研究院、电子科技大学等研究单位承担的科研项目中,作为激光核聚变关键器件、微波器件及大规模集成电路散热器件等使用。
 
报告人简介:于盛旺,太原理工大学,硕士导师。申请发明专利25项,其中授权8项;以第一作者及通信作者身份发表论文13篇。山西省科协军民融合学会联合体组专家委员,2016“创响山西”十大创新创业人物。获2016全国科技工作者创新创业大赛“金奖”(排名第1),第三届全国“互联网+”大学生创新创业大赛山西赛区一等奖及全国总决赛银奖(指导教师),第11届北京发明创新大赛京津冀协同创新优秀奖。
 
 
报告时间:2017年12月11日9:30
报告地点:逸夫楼521
主持人:巩华荣 教授