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物电论坛769期:博士生论坛

大功率毫米波激发高密度等离子体研究
陈驰 博士生
内容简介:相比其他产生等离子体的方法,用毫米波产生的等离子体是低温等离子体,具有丰富带电粒子、高能态的中性粒子和高活性的自由基和分子片段,且无电极污染、运行时间长等优势。被应用于材料合成、表面处理、杀菌等工业领域。但是现有等离子体源大多只能产生频率较低、小体积、低气压下的等离子体炬(柱)或者大面积的等离子体,这就限制了工业上的大规模应用。研究高频率、大功率、高效率、高密度的等离子体源在科学研究和工业应用中具有重要意义。本课题着力于使用大功率毫米波激发等离子体,并实现对其等离子体有关参数的检测。
报告人简介:陈驰,博士研究生,主要从事等离子体激发与检测技术研究。博士生导师:鄢扬教授。
报告时间:2017年10月30日10:00
报告地点: 逸夫楼521
主持人: 鄢扬 教授